下载一种双流道式芯片编带外观缺陷检测方法的技术资料

文档序号:38994081

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本发明涉及芯片编带外观检测技术领域,具体地说,涉及一种双流道式芯片编带外观缺陷检测方法。其基于一种双流道的芯片编带外观缺陷检测设备实现,其特征在于:两条流道交替上的芯片编带交替进行检测,两条流道采用同一可沿交替检测方向移动的多站式检测系统进...
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