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本发明涉及陶瓷基板、陶瓷基板的制造方法、静电吸盘、基板固定装置以及用于半导体器件的封装件。该陶瓷基板包括基体和埋入在基体中的电导体图案。基体由陶瓷制成。电导体图案具有作为主要成分的固溶体，该固溶体具有铜固溶于钨中的体心立方晶格结构。溶于钨中...
该专利属于新光电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新光电气工业株式会社授权不得商用。

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