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本发明提供加工装置、清扫方法和清扫用板，能够不依赖于专用的清扫机构而清扫用于保持被加工物的保持面。该加工装置具有：保持单元，其包含具有对被加工物进行保持的第1保持面的卡盘工作台；加工单元；盒载置台，其载置能够对在第1面侧设置有凹凸构造的板状...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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