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本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法，在向处理容器的内部搬入盛有干燥液的基板之前提高基板的温度的均匀性。基板处理装置具备托盘、处理容器、移动部、供给部、排出部以及冷却部。托盘用于从盛有干燥液的基板的下方水平地保持该基板。处理容器用于将基...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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