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本发明提供一种基板处理装置。提供一种能够以更高的精度降低排气管中的压力变动的技术。基板处理装置具有塔、多个个别排气管、集合排气管、切换部、外部气体导入部以及控制部。塔包括在铅垂方向上排列设置的多个处理单元。切换部对多个个别排气管中的各个个别...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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