【技术实现步骤摘要】
基板处理装置
[0001]本公开涉及一种基板处理装置。
技术介绍
[0002]以往，提出了一种处理基板的基板处理装置(例如专利文献1)。在专利文献1中，基板处理装置包括在铅垂方向上层叠的多个处理部。各处理部包括处理腔室，在该处理腔室内，向基板供给处理液等处理流体。由此，对基板进行与处理流体相对应的处理。处理腔室内的气体穿过后述的排气系统而向外部排出。
[0003]在专利文献1中，处理部能够依次供给酸性药液、碱性药液以及有机溶剂。在处理部供给酸性药液时，从处理腔室排出的气体中含有从酸性药液产生的气体和雾。此时，排出气体的流体类别为酸性气体。在处理部供给碱性药液时，从处理腔室排出的气体中含有从碱性药液产生的气体和雾。此时，排出气体的流体类别为碱性气体。在处理部供给有机溶剂时，从处理腔室排出的气体中含有从有机溶剂产生的气体和雾。此时，排出气体的流体类别为有机气体。
[0004]排气系统使这些排出气体向与该流体类别相对应的个别的排气单元排出。在专利文献1中，排气系统包括集合配管、多个排气管、流路切换部以及外部气体导入...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：第一塔，包括多个第一处理单元，多个所述第一处理单元在铅垂方向上排列设置，各个所述第一处理单元对基板进行处理，多个第一个别排气管，从多个所述第一处理单元排出的气体分别在多个所述第一个别排气管中流动，第一集合排气管，第一切换部，对多个所述第一个别排气管的各个第一个别排气管与所述第一集合排气管的连通以及切断进行切换，第一外部气体导入部，具有向所述第一集合排气管导入来自外部的外部气体的流路，该流路的导入面积是能够变化的，以及控制部，基于与多个所述第一处理单元分别对应的个别导入面积和所述第一切换部的切换状态，控制所述第一外部气体导入部的所述导入面积；与多个所述第一处理单元分别对应的所述个别导入面积根据多个所述第一处理单元的各个第一处理单元的设置位置而设定。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述控制部基于多个所述第一处理单元中的与所述第一集合排气管切断的第一处理单元所对应的所述个别导入面积的总和，控制所述导入面积，所述个别导入面积被设定为，越是多个所述第一处理单元中设置位置高的第一处理单元，所述个别导入面积的值越大。3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，所述第一外部气体导入部包括：单一的导入管，设置于所述第一集合排气管；以及可动构件，调整所述单一的导入管的所述导入面积，由所述控制部控制。4.根据权利要求3所...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。