下载在鳍式场效应晶体管器件中提高迁移率的金属栅应力膜的技术资料

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一种CMOS FinFET半导体器件提供了在半导体鳍(fin)上包括压缩应力金属栅极层的NMOS FinFET(鳍式场效应晶体管)器件和在半导体鳍上包括拉伸应力金属栅极层的PMOS FinFET器件。形成该器件的工艺包括选择性地将形成在PM...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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