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半导体结构及其制作方法技术
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文档序号:38937515
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本申请提供一种半导体结构及其制作方法,涉及半导体技术领域,用于解决半导体结构的导通电流低的技术问题。半导体结构包括衬底、覆盖衬底的阻挡层、第一调整层和第一接触结构;衬底包括多个间隔设置的有源区,有源区包括第一接触区,阻挡层设置有多个间隔设置...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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