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晶圆承载装置及晶圆加工设备制造方法及图纸
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文档序号:38934541
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本公开提供了一种晶圆承载装置及晶圆加工设备,晶圆承载装置包括承载台和导气管路,承载台具有承载面,承载面上设有多个环形凹槽;导气管路具有多个吸气口,吸气口设置在环形凹槽内,且导气管路连接有抽真空组件、以在环形凹槽内形成负压使晶圆吸附在承载面上...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。
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