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本申请公开了一种硅晶圆片酸腐蚀装置及使用方法，本装置包括箱体以及设置在箱体内的腐蚀笼，所述箱体的内部设有安装架，所述安装架上设有快速转运机构、水洗槽、快排缓冲箱、酸腐蚀槽、恒温箱体以及药液浓度检测系统，所述水洗槽与酸腐蚀槽并排设置在安装架上...
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