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本实用新型公开一种碳化硅表面粗糙度测试仪卡位器，包括载物台及多个定位件；其中，载物台包括一承载面以及凹设于所述承载面的多个定位圈，各所述定位圈围绕所述承载面的中心呈同心设置；每一所述定位件沿一所述定位圈可拆卸地连接于所述承载面，每一所述定位...
该专利属于广东天域半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东天域半导体股份有限公司授权不得商用。

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