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公开了形成用于在衬底的前侧和衬底的背侧之间提供连接的通孔的方法，以及包括该通孔的半导体器件。在一个实施例中，半导体器件包括：栅极结构，位于衬底上；第一隔离部件，部分地延伸穿过栅极结构；第一导电部件，延伸穿过第一隔离部件；以及第二导电部件，部...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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