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半导体结构的制造方法技术
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文档序号:38892820
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一种半导体结构的制造方法包括:在位元线之间形成半导体层;图案化半导体层以形成多个单元接触和沟槽,其中沟槽隔开两个单元接触;在沟槽中形成隔离层。半导体层可形成在位元线之间,使得位元线之间可不形成牺牲层。可省略形成牺牲层的工艺以节省制造成本及时...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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