下载双工通信器件、集成芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:38888040

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种双工通信器件,包括:衬底;成核层,设置在衬底上;超晶格过滤位错层,设置在成核层上;第一氮化物层,设置在超晶格过滤位错层上,第一氮化物层的顶面的一侧包含台面,台面的厚度小于第一氮化物层的厚度;主探测有源区,设置在第一氮化物层顶...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。