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本实用新型提供了一种校准治具及量测系统，所述校准治具配置为确定晶圆在钳块上的目标位置，以便于根据该目标位置将所述晶圆放置在所述钳块上；所述校准治具包括治具本体，所述治具本体上设置有与所述钳块相对应的定位结构，所述定位结构配置为定位所述校准治...
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