下载改进的直拉单晶炉加热器结构的技术资料

文档序号:3885408

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本实用新型涉及加热器装置,旨在提供一种改进的直拉单晶炉加热器结构。该加热器包括在轴线方向上布置了交互且均匀开槽的环形石墨加热器,在环形石墨加热器上设置一个减薄加热段,减薄加热段的径向横截面积为加热器其余部位的径向横截面积的2/3~3/4;所...
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