下载一种真空磁控溅射双面镀膜系统的技术资料

文档序号:38853215

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本实用新型公开了一种真空磁控溅射双面镀膜系统,包括抽真空机构、入口室、加热室、中转室和镀膜室,入口室、中转室和镀膜室依次连接,加热室和中转室连接,镀膜室上设有磁控溅射系统和可转动的水平布置的转盘,转盘位于镀膜室内,转盘上环形阵列布置有多个用...
该专利属于湘潭宏大真空技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭宏大真空技术股份有限公司授权不得商用。

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