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本申请公开了一种微机电系统器件，其将MEMS裸片与CMOS裸片设于基底上，CMOS裸片上设有包含多个连接触点的第一触点组，MEMS裸片上设有与第一触点组中的连接触点对应连接的第二触点组，第一触点组中的连接触点包括第一接地触点、第一驱动触点以...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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