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本实用新型涉及一种加热线圈拉紧结构,属于半导体设备技术领域,线圈环绕在半导体设备待加热的圆柱件外,两端相交叉,第一端外固定连接有第一滑块,线圈的第二端外固定连接有第二滑块;在半导体设备的底板上固定嵌入设置有第一滑轨和第二滑轨;第一滑轨与第一...该专利属于盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种加热线圈拉紧结构,属于半导体设备技术领域,线圈环绕在半导体设备待加热的圆柱件外,两端相交叉,第一端外固定连接有第一滑块,线圈的第二端外固定连接有第二滑块;在半导体设备的底板上固定嵌入设置有第一滑轨和第二滑轨;第一滑轨与第一...