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本发明公开了一种半色调掩膜版透过率测量方法，半色调掩膜版上，一个视野范围内，具有相邻的全透区、不透区和半透区，测量方法为:首先，在半色调掩膜版两侧分别无接触的设置激光发射器和激光接收器；然后仅打开激光发射器，使得激光发射器发射的激光穿过半透...
该专利属于合肥清溢光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥清溢光电有限公司授权不得商用。

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