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半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:38761663
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本公开实施例提供一种半导体结构及其制造方法。其中,半导体结构,包括:基底结构,基底结构包括源极、漏极和沟道区;栅极结构,位于基底结构上;源极和漏极分别位于栅极结构的两侧,沟道区位于栅极结构的下方;基底结构还包括第一应力层,第一应力层至少位于...
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