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一种半导体结构包括半导体基材、位于半导体基材的沟槽中的间隔物，其中间隔物包括两个沟槽氮化物层和夹在两个沟槽氮化物层之间的空隙。第一氮化物层用以密封两个沟槽氮化物层之间的空间隙的暴露开口。第二氮化物层在第一氮化物层之上，其中第二氮化物层具有比...
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