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本实用新型涉及半导体制备设备技术领域，具体涉及一种半导体真空设备的腔室结构，包括真空腔室、升降杆、与真空腔室连接的抽真空管道，所述真空腔室的底部设有真空密封机构，所述真空密封机构通过真空连接管与抽真空管道连接，所述真空密封机构包括真空密封本...
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