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本实用新型公开了一种硅晶片镀膜装置上腔体提升机构，包括架体和提升装置；所述架体为中空框架结构，所述架体内设有上腔体和下腔体；所述提升装置包括动力装置、传动装置、丝杠和与所述丝杠配合的螺母；所述动力装置设于所述架体顶部，且通过所述传动装置与所...
该专利属于大连皓宇电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连皓宇电子科技有限公司授权不得商用。

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