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本发明提供了一种晶舟形变量监控装置及方法，属于半导体制造技术领域。晶舟形变量监控装置，包括：设置在晶舟外侧的支撑架；至少一个监测单元，每一所述监测单元包括：设置在所述晶舟侧面的接触杆，所述接触杆与所述晶舟的支柱垂直，所述接触杆的一端固定在所...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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