下载近红外探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:38687579

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本发明提供一种近红外探测器件,包括:衬底,包括掺杂区域和非掺杂区域,所述衬底的材料包括锑化镓,所述掺杂区域设置于衬底表面,并从衬底表面向下延伸至第一深度,所述掺杂区域所掺杂的离子包括锗和/或硅离子,所述非掺杂区域为所述衬底去除所述掺杂区域的...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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