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本发明提供清洗用治具和清洗方法，高强度有效地且短时间低成本地对卡盘工作台进行清洗。清洗用治具对卡盘工作台进行清洗，卡盘工作台包含上表面平坦的多孔质部件以及使多孔质部件向上方露出并进行收纳的框体，清洗用治具具有主体，该主体形成有从形成于正面侧...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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