下载测试结构及测试方法的技术资料

文档序号:38648401

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本发明公开一种测试结构及测试方法。测试结构包括衬底;多个测试金属层,包括穿插设置的蛇形金属线和梳齿状结构;第一至第三测试电极,第一和第二测试电极分别与每个蛇形金属线的第一端和第二端相连,第三测试电极与每个梳齿状结构相连,使第一与第二测试电极...
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