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一种等离子体蒸发腔室的变径组合装置及实现方法，包括腔室壁、变径内胆、变径导轨、热电偶，反应腔室为整体直流电弧等离子体蒸发腔室。反应腔室内的阳极铜座设于变径内胆底面中部，阴极由升降杆带动能够上下移动，坩埚放置于阳极铜座上，阴极与阳极物料之间形...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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