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本实用新型提供一种框架门固定装置及化学气相沉积设备,其中的装置包括框架门固定装置,其特征在于,包括设置在框架门的门板中部位置的把手以及与把手连接的上限位杆和下限位杆;其中,在框架门的门框上设置有与上限位杆位置对应的上限位孔,以及与下限位杆位...该专利属于盛吉盛(韩国)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛吉盛(韩国)半导体科技有限公司授权不得商用。
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