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本申请公开一种半导体元件。该半导体元件包括一第一次组实体对准标记，设置于一基底上并包括：一第一层对准标记，设置于该基底上，以及一第二层对准标记，设置于该第一次组实体对准标记的该第一层对准标记之上并与之偏离；以及一第一次组间隔对准标记，设置于...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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