下载存储单元结构、存储阵列结构、半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:38631346

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本发明涉及一种存储单元结构、存储阵列结构、半导体结构及其制备方法。存储单元结构包括:衬底、有源区、字线结构、绝缘介质层和电容结构,衬底中具有位线结构;有源区位于位线结构上,在沿垂直于衬底的方向上,包括第一连接端、远离第一连接端的第二连接端、...
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