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铁电场效应晶体管、神经网络装置和电子装置制造方法及图纸
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下载铁电场效应晶体管、神经网络装置和电子装置的技术资料
文档序号:38607584
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提供了铁电场效应晶体管、神经网络装置和电子装置。铁电场效应晶体管包括:基板;源极,在第一方向上从基板的上表面突出;漏极,在第一方向上从基板的上表面突出;沟道,与基板的上表面间隔开并在源极和漏极之间在不同于第一方向的第二方向上延伸;铁电膜,围...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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