下载半导体存储器件的技术资料

文档序号:38570289

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一种半导体存储器件,包括:衬底;以及电容器结构,所述电容器结构位于所述衬底上,并且包括下电极、电容器电介质层和上电极。其中,所述电容器电介质层包括:下界面层,所述下界面层位于所述下电极上并且掺杂有第一导电类型的杂质;上界面层,所述上界面层在...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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