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本实用新型属于清洗技术领域，具体涉及一种用于晶圆旋转背洗结构及晶圆清洗设备，包括：支撑部，所述支撑部适于对晶圆进行支撑，并且所述支撑部适于带动支撑的晶圆旋转；背洗部，所述背洗部设置在所述支撑部上，所述背洗部适于在晶圆表面进行清洗时对晶圆的背...
该专利属于创微微电子（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创微微电子（常州）有限公司授权不得商用。

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