下载一种基于GST相变材料的中红外发射率调制器件及方法的技术资料

文档序号:38543463

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本发明公开了一种基于GST相变材料的中红外发射率调制器件及方法,包括金属层、相变材料GST介质层和衬底层;所述金属层设置有超构表面基元,所述超构表面基元呈周期性阵列结构分布在衬底层上,所述相变材料GST介质层设置在衬底层中的第一衬底层和第二...
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