下载晶面养护装置的控制方法、养护装置及计算机可读介质的技术资料

文档序号:38536384

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及晶面养护装置的控制方法、养护装置及计算机可读介质。该控制方法包括:步骤S1:获得养护区域的区域信息,养护区域包括至少一个工作区;步骤S2:控制晶面养护装置移动至一个工作区,将一个工作区作为当前工作区;步骤S3:控制晶面养护装置在当...
该专利属于派特纳(上海)机器人科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过派特纳(上海)机器人科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。