温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种喷淋头。喷淋头包括：喷淋头本体，包括上盖板、喷淋板及RPS通道；射频引入杆，设于RPS通道，其中，射频引入杆的上端连接射频电源，射频引入杆的下端与喷淋板的中心相连，并经由喷淋板的中心将射频功率引入下方的反应腔；以及波纹管...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。