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本发明公开了一种射频平面阴极，阴极组件上设有多个射频接口，射频接电端头分别与多个射频接口连接，且射频接电端头至任一射频接口之间阻抗相等。通过上述优化设计的射频平面阴极，通过射频接电端头至接电点阻抗相等，使得射频功率在阴极组件上均匀分布，使得...
该专利属于中科纳微真空科技（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科纳微真空科技（合肥）有限公司授权不得商用。

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