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本发明公开了一种反应腔室及化学气相沉积设备，反应腔室的下方设有抽气管路，抽气管路靠近反应腔室的一段为Ｕ型或Ｖ型的折弯型，折弯型部位背离反应腔室排气口的一侧安装有滤网，抽气管路的折弯型部位的底部设有储尘槽和除尘法兰。工艺过程中，粉尘能够沉积在...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。