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本发明公开了一种加热腔室及等离子体增强化学气相沉积装置，包括装载基片的载板，载板的下部固定有温度变形器件，载板的下方侧面对应于温度变形器件的位置设有测量光栅。温度变形器件能随载板的温度变化产生不同的变形，温度变形器件形变通过光栅的光量改变而...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。