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深圳新声半导体有限公司
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声表面波谐振器、MEMS设备制造技术
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文档序号:38480531
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本申请涉及谐振器技术领域,公开一种声表面波谐振器,包括:压电衬底,用于声电换能;压电衬底的外表面设置有叉指电极结构;叉指电极结构,通过施加电压以激励声电换能;叉指电极结构包括两个汇流条和垂直连接汇流条的多个电极指;第一活塞部,设置在有效区域...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。
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