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垂直型功率器件及其制备方法技术
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文档序号:38479512
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本发明公开了一种垂直型功率器件及其制备方法。该功率器件包括漏极;第一缓冲层,位于所述漏极上;补丁层,位于所述第一缓冲层上,用于降低外延孔洞产生的电子泄露;第二缓冲层,位于所述补丁层上;沟道层,位于所述第二缓冲层上;势垒层,位于所述沟道层上;...
该专利属于苏州汉骅半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州汉骅半导体有限公司授权不得商用。
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