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半导体器件版图结构及其制作方法技术
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文档序号:38461994
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本公开实施例提供一种半导体器件版图结构及其制作方法,其中,所述半导体器件版图结构包括有源区版图层,所述有源区版图层包括第一有源区图案,和与至少两个第一有源区图案共接的第二有源区图案;漏极接触层,用于形成漏极接触插塞,位于第一有源区图案上;源...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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