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利用纳米压印技术制备面发射表面等离子体激光器的方法技术
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下载利用纳米压印技术制备面发射表面等离子体激光器的方法的技术资料
文档序号:3843338
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一种利用纳米压印技术制备面发射表面等离子体激光器的方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:步骤1:在激光器的出光面上制作一层金属薄膜;步骤2:在金属薄膜上涂敷一层液态阻蚀剂;步骤3:把压印模板上的纳米图案压在液态阻蚀剂上;步骤4:采用压印技术...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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