下载半导体器件和包括该半导体器件的数据存储系统的技术资料

文档序号:38431311

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一种半导体器件,包括:外围电路结构,包括衬底、在衬底上的电路元件、电连接到电路元件的连接图案及在电路元件上的外围绝缘结构;存储单元结构,在外围电路结构上,包括彼此交替堆叠的层间绝缘层和栅电极、上布线;以及贯通接触插塞,将上布线电连接到上连接...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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