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一种具有分离式基板的晶圆级集成结构制造技术
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下载一种具有分离式基板的晶圆级集成结构的技术资料
文档序号:38428051
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本发明涉及半导体制造技术领域,提出一种具有分离式基板的晶圆级集成结构,包括:第一印刷电路板;多个相互分离的基板,其布置在所述第一印刷电路板的第一面上;转接板,其布置在所述多个基板上;以及多个芯片,其布置在所述转接板上。该结构使用相互分离的多...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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