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本发明提供一种新型的含硅聚合物，可以形成低残余应力、抗裂性优异的固化膜，以及一种具有特定环状结构的聚碳硅氮烷。具有特定环状结构的聚碳硅氮烷。具有特定环状结构的聚碳硅氮烷。
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