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一种曝光装置和曝光方法。实施方式的曝光装置对基板进行曝光。曝光装置包括载台、存储装置以及控制装置。载台构成为能够保持基板。存储装置构成为能够存储具有互不相同的对准校正值的多个校正图。控制装置基于被配置于基板的多个对准标记的测量结果或基板的翘...
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