下载一种利用磁控溅射制备纳米级非晶超导薄膜的方法及产品的技术资料

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本发明提出了一种利用磁控溅射制备纳米级非晶超导薄膜的方法及产品,属于超导薄膜技术领域,该方法包括以下步骤:在氩气环境下,利用磁控溅射,以30
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